중국의 반도체 산업이 발전함에 따라 공정 장비의 핵심 부품 개발은 장비 개발에 중요한 제약이 되었습니다. 국내 반도체 기술 국산화에 대한 요구가 거세지면서 반도체 산업의 병목기술은 점점 더 많이 극복될 것이다. 당사는 수년간의 반도체 산업 경험을 바탕으로 반도체 코팅, 현상, 세정 장비의 웨이퍼 흡착을 위한 중공{2}}샤프트 고속-서보모터를 개발하였습니다. 이 모터는 높은 가속도, 넓은 속도 범위, 높은 응답성을 특징으로 하며 업계 고객들로부터 널리 호평을 받고 있습니다.
중공-샤프트 서보 모터의 응용 분야:
노광 및 현상 장비(코팅, 현상): 코팅, 노광, 현상을 제어하는 포토리소그래피 공정의 주요 장비입니다.
세척, 코팅, 현상, 필름 제거 장비입니다.
물리적 헹굼 세척, 입자 세척 및 스프레이 공정에 적합합니다.
중공축 서보 모터 제품 사양 및 응용 분야:
750W/1000W – 5000, 6000rpm
적용 분야(고급-모델):
8인치, 12인치 반도체 장비.
코팅, 현상, 세정, 에칭 등의 공정입니다.
최대 가속도는 50000 R/S² 순간 가속도에 도달할 수 있습니다.
특수 샤프트 끝 설계로 가장 낮은 샤프트 끝 하중 런아웃 계수를 보장합니다.
