Panasonic 드라이브 + 중공축 모터는 장기-, 높은-효율성 및 안정적인 작동을 보장합니다.
중공축 고속-모터 구조: 정격 속도: 5000rpm, 최대 속도 6000-8000rpm.
초-빠른 가속/감속 시간: 47750R/S².
저소음, 저진동, 샤프트 끝 런아웃 계수가 0.01mm만큼 낮습니다.
진공 중공축 설계와 독특한 샤프트 엔드 설계로 원활한 청크 작동이 보장됩니다.
모터 전력: 750/1000W, 수냉식 시스템 설계, 6인치, 8인치, 12인치 웨이퍼 요구 사항을 충족합니다.
다양한 사용자가 맞춤형 샤프트 엔드 디자인을 사용할 수 있습니다.
